NanoX-80003D輪廓測量主要技術(shù)參數3D測量主要技術(shù)指標（1）：測量模式：PSI+VSI+CSIZ軸測量范圍：大行程PZT掃描（300um標配/500um選配）10mm精密電機拓展掃描CCD相機：1920x1200高速相機（標配）干涉物鏡：（標配）,20X,50X,100X(NIKON)物鏡切換：5孔電動(dòng)鼻切換FOV：1100x700um(10X物鏡),220x140um(50X物鏡)Z軸聚焦：高精密直線(xiàn)平臺自動(dòng)聚焦照明系統：高效長(cháng)壽白光LED+濾色鏡片電動(dòng)切換（綠色/藍色）傾斜調節：±5°電動(dòng)調節橫向分辨率：≥μm（與所配物鏡有關(guān)）3D測量主要技術(shù)指標（2）：垂直掃描速度：PSI:<10s，VSI/CSI：<38um/s高度測量范圍：–10mm表面反射率：>(1σ)臺階高重復性：(1σ)VSI/CSI：垂直分辨率<(1σ，10um臺階高)。產(chǎn)能 : 45s/點(diǎn) （移動(dòng) + 聚焦 + 測量）（掃描范圍 50um）。中端輪廓儀服務(wù)為先

輪廓儀是一種兩坐標測量?jì)x器，儀器傳感器相對被測工件表而作勻速滑行，傳感器的觸針感受到被測表而的幾何變化，在X和Z方向分別采樣，并轉換成電信號，該電信號經(jīng)放大和處理，再轉換成數字信號儲存在計算機系統的存儲器中，計算機對原始表而輪廓進(jìn)行數字濾波，分離掉表而粗糙度成分后再進(jìn)行計算，測量結果為計算出的符介某種曲線(xiàn)的實(shí)際值及其離基準點(diǎn)的坐標，或放大的實(shí)際輪廓曲線(xiàn)，測量結果通過(guò)顯示器輸出，也可由打印機輸出。（來(lái)自網(wǎng)絡(luò )）輪廓儀在集成電路的應用：封磚Bump測量視場(chǎng)：72*96（um）物鏡：干涉50X檢測位置：樣品局部面減薄表面粗糙度分析封裝：300mm硅片背面減薄表面粗糙度分析面粗糙度分析：2D,3D顯示；線(xiàn)粗糙度分析：Ra,Ry，Rz，…器件多層結構臺階高M(jìn)EMS器件多層結構分析、工藝控制參數分析激光隱形切割工藝控制世界微一的能夠實(shí)現激光槽寬度、深度自動(dòng)識別和數據自動(dòng)生成，大達地縮短了激光槽工藝在線(xiàn)檢測的時(shí)間，避免人工操作帶來(lái)的一致性。安徽輪廓儀代理商白光干涉系統基于無(wú)限遠顯微鏡系統，通過(guò)干涉物鏡產(chǎn)生干涉條紋，使基本的光學(xué)顯微鏡系統變?yōu)榘坠飧缮鎯x。

1）白光輪廓儀的典型應用：對各種產(chǎn)品，不見(jiàn)和材料表面的平面度，粗糙度，波溫度，面型輪廓，表面缺陷，磨損情況，腐蝕情況，孔隙間隙，臺階高度，完全變形情況，加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。2）共聚焦顯微鏡方法共聚焦顯微鏡包括LED光源、旋轉多珍孔盤(pán)、帶有壓電驅動(dòng)器的物鏡和CCD相機。LED光源通過(guò)多珍孔盤(pán)（MPD）和物鏡聚焦到樣品表面上，從而反射光。反射光通過(guò)MPD的珍孔減小到聚焦的部分落在CCD相機上。傳統光學(xué)顯微鏡的圖像包含清晰和模糊的細節，但是在共焦圖像中，通過(guò)多珍孔盤(pán)的操作濾除模糊細節（未聚焦），只有來(lái)自聚焦平面的光到達CCD相機。因此，共聚焦顯微鏡能夠在納米范圍內獲得高分辨率。每個(gè)共焦圖像是通過(guò)樣品的形貌的水平切片，在不同的焦點(diǎn)高度捕獲圖像產(chǎn)生這樣的圖像的堆疊，共焦顯微鏡通過(guò)壓電驅動(dòng)器和物鏡的精確垂直位移來(lái)實(shí)現。200到400個(gè)共焦圖像通常在幾秒內被捕獲，之后軟件從共焦圖像的堆棧重建精確的三維高度圖像。

隨著(zhù)時(shí)代的發(fā)展，輪廓儀也越來(lái)重要了，不少的產(chǎn)品檢測都需要通過(guò)輪廓儀進(jìn)行檢測，金日就讓我們來(lái)了解一下輪廓儀的工作原理與應用吧。輪廓儀工作原理輪廓儀是一種雙坐標測量?jì)x器。儀器傳感器相對于測量的工件臺以恒定速度滑動(dòng)。傳感器的觸針檢測測量?jì)x表的幾何變化，并分別在X和Z方向上對其進(jìn)行采樣，并將其轉換為電信號。電信號被放大和處理，然后轉換成數字信號并存儲在計算機系統的存儲器中。計算機以數字方式過(guò)濾原始表格的輪廓，分離表面并計算粗糙度分量，測量結果為計算符號。某個(gè)曲線(xiàn)的實(shí)際值及其與參考點(diǎn)的坐標，或放大的實(shí)際輪廓曲線(xiàn)。測量結果通過(guò)顯示器輸出，也可以由打印機輸出。輪廓儀應用輪廓儀廣范用于機械加工、汽車(chē)、摩托車(chē)、精密五金、精密工具、刀 具、模具、光學(xué)元件等行業(yè)適用于研究機構、大學(xué)、計量機構和企業(yè)計量室。在汽車(chē)，摩托車(chē)和制冷行業(yè)，它可以測量活塞，活塞銷(xiāo)，齒輪的總線(xiàn)參數和汽車(chē)，摩托車(chē)和壓縮機的閥門(mén)柱塞，可以測量各種傾斜部件的參數。在軸承工業(yè)中，內護套環(huán)的密封槽的形狀（角度，倒角R，槽深，槽寬等）；各種滾子軸承的滾子和套圈母線(xiàn)的冠部，角度和對數曲線(xiàn)；電機軸，圓柱銷(xiāo)，活塞銷(xiāo)，滾針軸承，圓柱滾子軸承。NanoX-8000隔振系統：集成氣浮隔振 + 大理石基石。

NanoX-8000系統主要性能?菜單式系統設置，一鍵式操作，自動(dòng)數據存儲?一鍵式系統校準?支持連接MES系統，數據可導入SPC?具備異常報警，急停等功能，報警信息可儲存?MTBF≥1500hrs?產(chǎn)能:45s/點(diǎn)（移動(dòng)+聚焦+測量）（掃描范圍50um）?具備Globalalignment&Unitalignment?自動(dòng)聚焦范圍：±0.3mm?XY運動(dòng)速度蕞快表面三維微觀(guān)形貌測量的意義在生產(chǎn)中，表面三維微觀(guān)形貌對工程零件的許多技術(shù)性能的評家具有蕞直接的影響，而且表面三維評定參數由于能更權面，更真實(shí)的反應零件表面的特征及衡量表面的質(zhì)量而越來(lái)越受到重視，因此表面三維微觀(guān)形貌的測量就越顯重要。通過(guò)兌三維形貌的測量可以比較權面的評定表面質(zhì)量的優(yōu)劣，進(jìn)而確認加工方法的好壞以及設計要求的合理性，這樣就可以反過(guò)來(lái)通過(guò)知道加工，優(yōu)化加工工藝以及加工出高質(zhì)量的表面，確保零件使用功能的實(shí)現。表面三位微觀(guān)形貌的此類(lèi)昂方法非常豐富，通?？煞譃榻佑|時(shí)和非接觸時(shí)兩種，其中以非接觸式測量方法為主。在共焦圖像中，通過(guò)多珍孔盤(pán)的操作濾除模糊細節（未聚焦），只有來(lái)自聚焦平面的光到達CCD相機。自動(dòng)測量輪廓儀試用

共聚焦顯微鏡包括LED光源、旋轉多珍孔盤(pán)、帶有壓電驅動(dòng)器的物鏡和CCD相機。中端輪廓儀服務(wù)為先

我們的輪廓儀有什么優(yōu)勢呢世界先進(jìn)水平的產(chǎn)品技術(shù)合理的產(chǎn)品價(jià)格24小時(shí)到現場(chǎng)的本地化售后服務(wù)無(wú)償產(chǎn)品技術(shù)培訓和應用技術(shù)支持個(gè)性化的應用軟件服務(wù)支持合理的保質(zhì)期后產(chǎn)品服務(wù)更佳的產(chǎn)品性?xún)r(jià)比和更優(yōu)解決方案非接觸式輪廓儀（光學(xué)輪廓儀）是以白光干涉為原理制成的一款高精度微觀(guān)形貌測量?jì)x器，可測各類(lèi)從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀(guān)幾何輪廓、曲率等。（本段來(lái)自網(wǎng)絡(luò )）中端輪廓儀服務(wù)為先

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